超清浄。低パーティクル。ファブにそのまま。ISO 8での取り扱い。

半導体のご注文では、ISO 8——クラス10万——の洗浄と梱包を標準でお付けします。ISO 7、クラス1万以上の清浄度が要るときは、半導体専門の洗浄業者、OneidaやEntegrisといった協力先に最終洗浄を任せます。部品は最後に純水で洗い、イソプロピルアルコールですすぎ、清浄なナイロン袋で二重に包んでパーティクルの付着を防ぎます。

扱えます。半導体グレードのアルミニウム——パーティクルの振る舞いを左右する銅、鉄、ケイ素の微量成分を厳しく管理したもの——を、認定された製鋼所から調達します。ミルシート付きで、履歴もすべてたどれます。エッチングチャンバー向けには、超高純度の6061-T6のような耐プラズマ材や、パーティクルを減らすための陽極酸化品も手配します。

石英や溶融石英の加工は、ガラス加工を専門とする協力先を通じて行います。社内で石英を削ることはありません。けれども、石英部品を支える金属の取付具——チャック、フレーム、クランプ、ガス分散プレート——は日常的に削っています。ガラスと金属の組立ては、ひとつの注文としてまとめてお引き受けします。

当社には日常の仕事です。削り出しアルミか板金のシャシーに、電磁シールドのガスケット——フィンガーストックや導電性エラストマー——を入れ、継ぎ目を途切れなく電気的につなぎ、高周波に敏感な用途にはファラデーケージ構造とします。内面の処理には、無電解ニッケルや亜鉛といった導電性の塗料やめっきもご用意できます。

出せます。むしろ日常の仕事です。プロセスチャンバーのシールド、ライナー、消耗部品は摩耗しますから、定期的に取り替えねばなりません。当社は繰り返しのご注文に備えてCADデータを保管し、変わらぬ品質の交換品を2～3週間でお届けします。陽極酸化アルミニウム、ステンレス316L、耐プラズマ被膜をご用意しています。

理解しています。面粗さ、バリ取り、材料の選択——どれもプロセスチャンバー内でのパーティクルの振る舞いを左右します。当社が指定するのは、均一にビーズブラストした面——磨いた面は砥粒を放つことがあるので避けます——、遊離鉄を除いた不動態化ステンレス、かじりを防ぐ硬質皮膜の陽極酸化アルミニウム、そしてパーティクルに敏感な部品への無電解ニッケルめっき。すべて部品の工程表に書き残します。