Gefräste Kanäle. Integrierte Ventile. Dicht bis zum letzten Tropfen.

Hydraulikblöcke arbeiten serienmäßig bei 700 bar, in Sonderausführungen bis 1.000. Die Wandstärken folgen einer Spannungsberechnung, geprüft wird beim 1,5-Fachen des Betriebsdrucks.

Edelstahl 316L, elektropoliert auf Ra 0,4 µm oder besser und im Vakuum ausgeheizt. Mit Helium-Lecktest bis 10⁻⁹ atm·cm³/s. Der Standard für die Prozessgasverteilung in der Halbleiterfertigung.

Nach ASME BPE: benetzte Flächen aus elektropoliertem 316L mit Ra 0,5 µm, vollständig entleerbare Gestaltung und hygienische Anschlüsse. Elastomere der USP-Klasse VI. Dokumentation nach GMP.

Die inneren Strömungswege entstehen durch Bohrungen. Die Querbohrungen werden bei niedrigem Druck mit Rohrstopfen verschlossen, bei mittlerem mit Gewindestiften und Dichtmittel, bei hohem mit eingeklebten Stopfen. Wie ein solcher Stopfen versagen könnte, wird dabei stets mitbedacht.

Genormte Aufnahmen nach ISO 7368 oder SAE J973, gefertigt nach Vorgabe. Mit Einschraubventilen lassen sich sehr kompakte Blöcke bauen.

Vier bis sechs Wochen für einen üblichen Hydraulikblock. Sechs bis acht für einen elektropolierten Halbleiterblock. Druckprüfung und Dokumentation kommen mit ein bis zwei Wochen dazu.