Ultralimpio. Bajo en partículas. Listo para la fábrica. Manipulación ISO 8.

En los pedidos de semiconductores incluimos de serie la limpieza y el embalaje conforme a ISO 8, es decir, Clase 100.000. Si se exige ISO 7, Clase 10.000, o mejor, recurrimos a especialistas en limpieza para semiconductores —socios como Oneida o Entegris— para la limpieza final. Las piezas se lavan con agua desionizada, se enjuagan con alcohol isopropílico y se embolsan por duplicado en nailon limpio para evitar la contaminación por partículas.

Sí. Compramos aluminio de grado semiconductor —con la composición muy controlada en trazas de cobre, hierro y silicio, porque de ellas depende el comportamiento frente a las partículas— en acerías cualificadas, con trazabilidad completa y certificados de colada. Para cámaras de grabado también conseguimos calidades resistentes al plasma, como el 6061-T6 de ultraalta pureza, o anodizadas para que generen menos partículas.

El mecanizado de cuarzo y sílice fundida lo hacemos a través de socios especializados en vidrio; en casa no mecanizamos cuarzo. Lo que sí hacemos a menudo es mecanizar los herrajes metálicos que sujetan las piezas de cuarzo: portaobleas, bastidores, bridas y placas de distribución de gas. Coordinamos los conjuntos de vidrio y metal bajo un solo pedido.

Es trabajo corriente para nosotros. Chasis de aluminio mecanizado o de chapa con juntas de apantallamiento —láminas de contacto, elastómero conductor—, unión eléctrica continua en todas las costuras y construcción en jaula de Faraday cuando la aplicación es sensible a la radiofrecuencia. Para el tratamiento de las superficies interiores disponemos de pinturas y recubrimientos conductores, como el níquel químico o el cinc.

Sí, y es trabajo habitual. Los blindajes de cámara de proceso, los revestimientos y las piezas de sacrificio se desgastan y hay que reponerlos cada cierto tiempo. Conservamos los archivos CAD para los pedidos repetidos y podemos enviar los recambios en dos o tres semanas con una calidad constante. Disponemos de aluminio anodizado, inoxidable 316L y recubrimientos resistentes al plasma.

Sí. El acabado superficial, el desbarbado y la elección del material mandan sobre el comportamiento de las partículas dentro de la cámara. Nosotros especificamos: superficies granalladas uniformes, no pulidas, porque el pulido puede desprender restos de abrasivo; inoxidable pasivado, para eliminar el hierro libre; aluminio anodizado, con capa dura que evita el agarrotamiento; y níquel químico en los componentes sensibles a las partículas. Todo queda documentado en la hoja de ruta de la pieza.