معدات أشباه الموصلات. غرف التفريغ. مناولة الرقاقات.

السطح الأملس (Ra 0.4 ميكرومتر) لا يحتجز الملوثات. ومتوافق مع التفريغ الفائق. وهو المعيار في القطاع.

تتطلب تطبيقات التفريغ الفائق معدل تسرب 10⁻⁹ ضغط جوي·سم³/ثانية، يُتحقق منه بكشف تسرب الهيليوم.

يجب ألا تطلق المواد غازات أو جسيمات. فولاذ 316L الملمّع كهربائيًا، وPTFE، وبعض اللدائن.

معدات أشباه الموصلات: 50–1000 منظومة سنويًا عادةً. لمصنّعي المعدات.

شهادة التفريغ الفائق، وشهادة التلميع الكهربائي، وتوثيق معدل تسرب الهيليوم.

النموذج الأولي 4–6 أسابيع. والإنتاج 6–8 أسابيع. ويضيف اختبار التفريغ الفائق 2–3 أسابيع.